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洁净室工程能源消耗分析
2020-08-20
“据不完全统计,洁净室工程的能耗是一般写字楼的10倍-30倍。我国的8英寸集成电路芯片制造厂,其洁净室单位面积能耗达到1.48千瓦/平方米~1.93千瓦/平方米,比美国同类型工厂高15%。”上海市室内环境净化协会秘书长王芳告诉《中国电子报》
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